在厌氧生物处理技术长期的发展过程中，由于科技的发展程度以及厌氧技术本身存在的局限性，如厌氧处理出水OD氧，需后处理才能达到较高的排放标准厌氧微生物对有毒物质较为敏感;厌氧反应器初次启动较为缓慢等，厌氧生物处理技术的发展较好氧生物处理技术起步晚而且发展较为缓慢，但是以下几方面突出的优点却得到各国的认可及重视:a.厌氧法处理污水可直接处理高浓度有机废水，耗能少，运行费用低;b.污泥产率低;c.对营养物的需求量小;d.可回收沼气，具有较好的经济效益;e.具有较强抗冲击负荷能力及稳定性;f.厌氧系统规模灵活，设备简单，易于制作，无需昂贵的设备等。

厌氧生物处理技术最初的研究是从处理人类粪便开始，已有120多年的历史。1881年，法国科学家 Mouras发明了处理污水的自动净化器(Automatic Scasenger)，这是人工厌氧处理废水的开始。随后，在1890年，第一个厌氧滤池建成;在1895年Donald 建成了第一个厌氧化粪池;1906年lmhoff池(又称隐化池或双层沉淀池)设计成功。1910~1950年间，传统的消化池(conventionaldigestor)，又称普通消化池的二级消化池以及安装有加热设备和集气装置的密封式消化池进一步发展，出现了厌氧澄清器(anaerobic claridigestor),厌氧接触法(anaerobic contact process)等工艺，这些反应器被称为第一代厌氧反应器。由于厌氧微生物生长缓慢、世代时间长，需要反应器有足够长的停留时间，才能满足厌氧微生物的生长条件。第一代厌氧反应器无法将污泥停留时间和水力停留时间分开，大大增加了反应器的容积和占地面积，提高了建设费用。

20世纪70年代以来，随着能源问题的突出，大量关于高效节能的废水处理新工艺的研究与开发工作大大推动了厌氧处理技术的发展。厌氧生物处理技术因为其高效的污染物处理能力和可回收沼气能源而备受关注。

1967年J.C.Young 和P.L.McCarty开发了厌氧滤池(anaerobic filter)，并获得了广泛的应用。1974年 Wageningen农业大学的G.Lettinga等成功开发了升流式厌氧污泥层(up flow anaerobie sludge blanket，简称UASB)反应器，这就是对废水厌氧生物处理具有划代意义的AB反器。后的年里，厌胀床(anaerobic expended bed)、厌氧流化床(anaerobic fiudized bed)、厌氧生物转盘(anaerobic rotating biological reactor)和氧折流板反应器(anaerobic baffled reactor)相继出现。这些工艺的共同特点就是可以将体停留时间和水力停留时间相分离，使得反应器内固体停留时间可以长达上百天，而处理高浓度污水的水力停留时间则从过去的几十天缩短为几天，甚至几小时。提高了厌氧处理系统的高效性，称之为第二代厌氧反应器。

20世纪70年代以来，一批新的高效氧处理工艺不断从上述工艺中派生出来，如复合氧反应器(upflow anaerobic bed-filter，简称UBF)、USR (upflow solid reactor)、 EGS(expended granular sludge bed)和内循环厌氧反应器(internal circulation，简称IC)等称之为第三代厌氧反应器。这些新颖厌氧处理工艺的开发，打破了过去认为厌氧处理工艺处理效能低，需要较高温度、较高废水浓度和较长停留时间的传统观念，可适应不同的温度和不同的浓度，广泛地用于处理高浓度和低浓度废水的实际生产中。

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